石墨涂層在半導(dǎo)體封裝石墨模具上的應(yīng)用領(lǐng)域
液態(tài)硅膠半導(dǎo)體封裝石墨模具表面不粘膠石墨陶瓷涂層技術(shù)分享半導(dǎo)體封裝石墨模具石墨涂層在半導(dǎo)體封裝石墨模具上的應(yīng)用領(lǐng)域
由于石墨涂層含有金剛石成分,通常的涂層厚度:1~6μm;石墨具有很多優(yōu)良的特性:高硬度-60GPa或Hv6000以上;低摩擦系數(shù)約為0.06;極好的膜層致密性;良好的化學(xué)穩(wěn)定性、極佳的散熱性以及良好的光學(xué)性能等。
如應(yīng)用于各種半導(dǎo)體封裝石墨模具、精密部件及切削工具上,石墨涂層所表現(xiàn)出的特殊性能遠(yuǎn)超過其它硬質(zhì)涂層。石墨是新一代硬質(zhì)涂層技術(shù)和應(yīng)用的典型代表以及發(fā)展方向。石墨類金剛石膜素以優(yōu)秀的摩擦學(xué)性能著稱,比如說,此類材料通常具有很高的耐磨性和很低的摩擦系數(shù)。石墨涂層的制備可通過使用多種不同的技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。此過程有一個(gè)非常重要的特點(diǎn),那就是這些非晶涂層在相對較低的襯底溫度(<200℃)下完成沉積。
涂層的結(jié)構(gòu)與組分,以及涂覆過程所使用的工藝將決定這些涂層的屬性。由于這些可實(shí)現(xiàn)的屬性所覆蓋的范圍甚廣,石墨涂層在很多方面均大有用武之地。由于兼具了很高的耐磨性和杰出的摩擦性能及抗粘附性,石墨涂層將是摩擦組件與工具表面處理過程的理想選擇半導(dǎo)體封裝石墨模具石墨類金剛石膜層性能:
1、具有很高的硬度,優(yōu)良的耐磨性能。
2、摩擦系數(shù)低,與基體結(jié)合力強(qiáng),膜層涂覆均勻。
3、具有優(yōu)異的耐蝕性,能耐各種酸、堿等腐蝕;環(huán)保無毒。
4、對金屬、塑料、橡膠、陶瓷等均有良好的抗粘結(jié)和防咬合性能。
5、表面粗糙度低,可在各種鋼鐵、鈦合金、銅鋁合金、硬質(zhì)合金、陶瓷等材料上沉積。