陶瓷封裝石墨模具的主要特點(diǎn)

與高純度石墨相比較，高純石墨在400℃時(shí)開始發(fā)生強(qiáng)烈氧化，即使溫度不高，長期應(yīng)用也會(huì)因氧化而掉粉末，會(huì)依附工件和臺(tái)面或污染使用環(huán)境陶瓷封裝石墨模具主要特點(diǎn)：

1.、陶瓷封裝石墨模具高溫抗氧化：抗氧化,溫度高達(dá)1600℃時(shí)抗氧化性能仍然非常好；

2.、陶瓷封裝石墨模具純度高：高溫氯化條件下化學(xué)氣相沉積方法制得的；

3.、陶瓷封裝石墨模具耐沖刷：硬度高、表面致密、顆粒細(xì)；

4.、陶瓷封裝石墨模具抗腐蝕性：耐酸、堿、鹽及有機(jī)試劑；

5.、陶瓷封裝石墨模具表面層為β-碳化硅，屬面心立方。

6.、陶瓷封裝石墨模具氣相沉積方式，涂層厚度均勻。